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    参数化测试

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    FS800

    半导体参数测试系统

    参数测试 可靠性测试 快速脉冲测试

    FS800器件参数分析仪是兴发娱乐电子的新一代半导体器件电学特性分析设备。

    • 采用自主研发的测试硬件架构和数据总线，支持包括高精度SMU在内的多种自研测试模块，功能全面，配置灵活，扩展性强。

    • 在一个FS800系统中几乎可完成所有半导体器件的电性表征，支持电流电压(IV)测试、电容电压(CV)测试、脉冲式IV测试、任意线性波形发生与测量、低频噪声测试、高速波形发生与釆集测试等能力。

    • 采用灵活的模块化体系结构，在同一机箱内可同时安装高精度SMU和低漏电矩阵开关模块，在单台台式设备内即可实现晶圆级器件电性参数的自动化测试。

    • 直观的18.5英寸触摸屏界面。

    • 内置电性参数测试软件LabExpress提供丰富的测试预设和强大的数据处理功能，支持脚本化编程平台，可以灵活实现自定义算法和快速扩展。

    • 广泛应用于各种半导体器件、LED材料、二维材料器件、金属材料、新型先进材料与器件测试、器件可靠性等研究领域

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    产品亮点

    • 性能强大

      量程宽精度高
      支持高速采样时域信号采集、
      任意线性波形生成

    • 功能完善

      单机可支持高精度
      IV、CV、脉冲IV、高速波形
      和瞬态IV采样等测试应用

    • 可扩展性强

      可支持高达24个SMU
      或132端口矩阵开关
      支持同时安装高精度源表
      和低漏电矩阵开关模块

    • 测试效率高

      单台设备内可完成
      晶圆级电性参数的自动化测试
      支持并行测试

    • 简单易用

      内置labExpress测试软件
      提供丰富的内置测试算法库、
      数据分析工具和灵活的自定义能力

    产品应用

    • 工艺制程研发与
      器件参数测试

    • 半导体器件
      可靠性测试

    • 半导体器件
      超短脉冲测试

    • 非易失性
      存储器测试

    • 光电器件和
      微电子机械系统测试

    • 二维材料
      器件测试

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    • 新型先进材料
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